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關于臺式掃描電子顯微鏡您了解多少?

更新時間:2022-01-21      點擊次數:1171
  電子源發射的電子束經過電磁透鏡的電子光學通路聚焦,電子源的直徑被縮小到納米尺度的電子束斑,與顯示器掃描同步的電子光學鏡筒中的掃描線圈控制電子束,在樣品表面一定微小區域內,逐點逐行掃描。電子束與樣品相互作用,從樣品中發射的具有成像反差的信號,臺式掃描電子顯微鏡由一個適當的圖像探測器逐點收集,并將信號經過前置放大器和視頻放大器,用調制解調電路調制顯示器上相對應顯示像素的亮度,形成我們人類觀察習慣的,反映樣品二維形貌的圖像或者其他可以理解的反差機制圖像。
  由于圖像顯示器的像素尺寸遠遠大于電子束斑尺寸,(0.1mm/1nm=100,000倍)而且顯示器的像素尺寸小于等于人類肉眼通常的分辨率,這樣顯示器上的圖像相當于把樣品上相應的微小區域進行了放大。通過調節掃描線圈偏轉磁場,可以控制電子束在樣品表面掃描區域的大小,理論上掃描區域可以無限小,但可以顯示的圖像有效放大倍數的限度是掃描電鏡分辨率的限度。
  臺式掃描電子顯微鏡是控制信號不經過計算機軟件,直接由操作臺按鍵旋鈕等對執行機構進行控制,屬于人工手動控制,控制精度由操作者觀察儀表盤的變化決定,例如高壓電源,掃描線圈,探測器電源,電子槍控制,磁透鏡控制,樣品臺的運動控制等等。數字控制是所有控制指令輸入到交互控制軟件,然后由計算機對執行機構發出準確的數字指令,絕大部掃描電鏡參數可實現了軟件自動調整,如自動聚焦,亮度對比度,自動消象散,自動電子槍發射飽和,自動電子槍對中,自動物鏡光闌合軸等。

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