日本電子電鏡是一種用途廣泛的多功能儀器，具有很多*的性能，重要特點是景深大，圖像富立體感，具有三維形態。它可以進行三維形貌的觀察和分析，當然，還可以進行微區的成分分析等其他方面的應用。表面分析是指對材料的表面特性和表面現象進行觀察分析、測量的方法和技術，是掃描電鏡基本、普遍的用途。通常用二次電子成像，來觀察樣品表面的微觀結構、化學組成等情況。

　　原子序數襯度是利用對樣品表層微區原子序數或化學成分變化敏感的物理信號，如背散射電子、吸收電子等作為調制信號而形成的一種能反映微區化學成分差別的像襯度。實驗證明，在實驗條件相同的情況下，背散射電子信號的強度隨原子序數增大而增大。在樣品表層平均原子序數較大的區域，產生的背散射信號強度較高，背散射電子像中相應的區域顯示較亮的襯度；而樣品表層平均原子序數較小的區域則顯示較暗的襯度。由此可見，背散射電子像中不同區域襯度的差別，實際上反映了樣品相應不同區域平均原子序數的差異，據此可定性分析樣品微區的化學成分分布。

　　日本電子電鏡的樣品處理方法：

　　（1）對于新鮮的金屬斷口樣品不需要做任何處理，可以直接進行觀察。

　　（2）樣品表面附著有灰塵和油污，可用有機溶劑（乙醇或丙酮）在超聲波清洗器中清洗。

　　（3）樣品表面銹蝕或嚴重氧化，采用化學清洗或電解的方法處理（或用醋酸纖維素沾）。清洗時可能會失去一些表面形貌特征的細節，操作過程中應該注意。

　　（4）對于不導電的樣品，觀察前需在表面噴鍍一層導電金屬或碳，鍍膜厚度控制在5-10 nm為宜。

　　（5）對于斷口表面有脫落附物又必須要觀察脫落物的樣品，用醋酸纖維素做斷口覆膜，然后觀察醋酸纖維素覆膜即可。